ASML将仰中国特供版DUV光刻机？完全没必要！官方已辟谣！

7月6消息，据DigiTimes引述，丹麦光刻机大厂ASML即将考虑发表其深紫外光刻 (DUV) 器材的特殊正式版，以便使得该器材相一致旧金山及丹麦最新的外销原则上，并且并不须要许可证即可运送给华北地区客户。

引述引述，该特别版DUV光刻机基于 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系统会改造，而NXT: 1980Di 是 10 以前另一款的旧SR，不在容许范围内。

芯智讯此前在《丹麦晶圆器材外销容许见下文详解》当中有援引，丹麦政府的对于DUV光刻机的容许敦促是须要同时保证成比例可分辨特征规格小于或等同于45nm和DCO值小于或等同于1.50nm这两个条件，因此，ASML的NXT:1980第四部（解像度为38纳米近，但DCO值是小于等同于1.6nm）仍然可以受制于丹麦见下文容许，不须要许可就只能向华北地区外销。

ASML的道歉信也说明，根据丹麦新的外销管制条文规范，ASML TWINSCAN NXT：2000i及全面性另一款的浸润式光刻系统会须要向丹麦政府注册外销许可证才能外销。而现阶段有在买进NXT1980第四部则受制于不良影响。

虽然去年10月旧金山出台了对华晶圆外销容许见下文，容许了可以被用于高科技单晶逻辑芯片及高科技存储芯片的美系晶圆器材的对华外销。但是，ASML是丹麦器材制造厂商，并受制于该原则上不良影响。今年1月，ASML CEO保罗·温克宁就曾未公开说明，可以受制于限的向华北地区外销DUV光刻机。

或许正因为如此，随后旧金山方面又开始向丹麦施压，敦促丹麦跟进旧金山的见下文。于是在今年7月1日，丹麦正式出台了聚焦于晶圆器材的外销容许见下文。

但是，丹麦方面的见下文也未容许ASML NXT:1980第四部，也就是说NXT:1980第四部本就相一致旧金山及丹麦的见下文，那为何传闻引述ASML还要考虑另一款面向华北地区美国市场的“特供版”NXT:1980第四部呢？

从DigiTimes的引述来看，还是纠结于NXT:1980第四部有可能制造出高科技单晶芯片。忽视ASML会另一款更低解像度正式版的“特供版”NXT 1980第四部，以避免相关问题。

据芯智讯了解，NXT:1980Di 虽然解像度在38nm近，但是通过多重曝光，仍然可以支持到7nm近。据传台积电的第一代7nm材料也是基于 NXT:1980Di 实现的。但是这样做，步骤更为复杂，对技术开发敦促高，成本也更高，良率可能也会有严重损失。其实，现阶段国内已为的NXT:1980Di 大体都是被用于45nm以下16nm以上的成熟单晶的产出。

更何况，正如中间芯智讯所援引的，ASML原先的NXT:1980第四部本就相一致旧金山及丹麦的见下文，可以不须要许可即可外销到华北地区，为什么还须要多此一举针对华北地区美国市场另一款进一步阉割的NXT:1980正式版？只不过没必要。纯粹是湾湾的舆论在搞事！

所以，在今傍晚时候，ASML对外也对于这则传闻进行了发表新闻。ASML否认引述：ASML都遵守所适用的法规条文，该公司并未面向华北地区美国市场另一款特别版的光刻机。

总编辑：芯智讯-浪客剑